一台机器低调亮相，上面汉字令欧洲不寒而栗？近期，一台机器图片在网上悄然流传，据上面的汉字显示，这是一台EUV物镜装调干涉仪

 

 

一张网上流传的机器图片，就能让整个欧洲半导体行业脊背发凉？

 

我当时看到了这张图，上面写着汉字：EUV物镜装调干涉仪。心中猛地一震，这可是据说能够用干涉法精密装配EUV光刻机物镜的仪器。简言之一句话，就是凭借光干涉的原理，把物镜里的反射镜位置校准，让波像差达到最小化，唯有如此，才能刻出纳米级的图案。

 

这玩意儿要是真突破了，ASML的日子就不好过了。

 

背景得从开头细细说起。EUV光刻机乃是制造7纳米以下先进芯片的关键设备，在全世界范围内，仅有ASML这一家独揽供应之权。那荷兰的这家公司，凭借着欧盟与美国所累积的技术，稳稳地掌控着市场。在2023年，ASML的EUV机器出货量达到了约40台，其营收更是超过了210亿欧元。（来源：ASML2023年度报告）

 

中国这边，由于美国实施出口管制，自2019年起便无法获得ASML的高端EUV机器。商务部的数据表明，在2022年，中国半导体设备的进口额高达300亿美元，不过高端光刻机大多依靠DUV来勉强应对。（来源：中国商务部2022年贸易数据）

 

我查了下，早从2020年开始，中国就启动国家项目，投入上千亿人民币搞国产光刻机。

 

ASML的EUV技术，核心在光源、物镜和双工台。光源用极紫外光，波长13.5纳米功率得超过200瓦。Cymer公司（ASML子公司）用了激光产生的等离子体技术，花了20年才成熟。

 

 

中国企业呢？上海微电子装备（SMEE）从DUV起步，2021年推出28纳米光刻机。长春光机所负责光源，报道说他们2022年实现了EUV光源原型，功率达到几十瓦。（来源：中国科学院官网2022年报道）

 

科益虹源（或许是科美），在物镜镜片方面持续发力，以钙氟化物材料来磨制反射镜。这个时候，哈工大也有其团队在研究备用方案。

 

这步步推进，不是空谈。

 

最近的消息称，国产EUV原型，于4月在存储芯片上进行调试，8月、9月或许会实现量产。其物镜是科美公司的，光源为长光公司的。这种配置尽管成本较高，不过稳定性较好。哈工大只是备用方案，意在解决5纳米的良率问题。

 

如果属实，这可算是一大进步。不过实事求是地讲，在2035年前实现小规模商用，那可就已经超出预期了。

荷兰ASML要是继续跟美国步伐，麻烦大了。

 

想想2023年，美国商务部加码对华半导体禁令，ASML被迫停售部分DUV机器给中国。结果呢？华为2023年推出麒麟9000S芯片，用7纳米工艺，自产率超90%。（来源：路透社2023年9月报道）

 

这事儿让我看到，中国工业能力，一旦突破，速度惊人。EUV成功之后，以中国制造的规模，能将机器价格，压到如同白菜一般的价格。国内的芯片厂，像中芯国际、长江存储，将会大规模地开始运作。

 

 

ASML的灭顶之灾？其实也不夸张。2024年，ASML对华营收占比降到20%以下原来是49%。（来源：ASML2024季度报告）

 

荷兰现在骑虎难下，一边是美国压力，一边是自家企业利益。

 

换个视角，从地缘来看。美国的芯片法案在2022年砸下了520亿美元来补贴本土的半导体，不过台积电、三星依然依赖ASML。倘若东大能够实现自给自足，这样高端芯片将不再成为瓶颈。

 

这不就是技术围堵的反噬吗？

 

细节上来看，EUV装配用的干涉仪，其原理就如同那著名的双缝实验一样，通过利用可见光的干涉条纹来测量位移，精度能够达到纳米级这一程度。据悉中国团队已经成功地解决了反射镜的对准问题，并且将波像差控制在了0.01波长之内。

 

这进步，源于国家实验室所积累的成果。比如说像中国精密光学工程研究中心，在2021年的时候发表了相关论文，专门对EUV物镜装配技术进行了讨论。（来源：《光学精密工程》期刊2021年第29卷）

 

但问题也较为繁多。光源的稳定性方面，在国际上，ASML采用锡滴等离子这一方式，存在效率较低且热量较大的情况。而中国的长光方案与之类似，不过其功率仍有待进一步提升。

 

 

美国妄图卡脖子，不过中国却反过来加快自身的自研进程。结果荷兰处于中间位置，遭受的损失最为巨大。

 

想想历史，在1980年代这个时期，日本的半导体开始崛起，随后美国通过广场协议将其压制了下去。而如今轮到了中国，游戏规则也发生了改变。

 

我刷到一篇报道，欧盟委员会2023年讨论芯片法案，投300亿欧元，但远不及中国投入。（来源：欧盟官网2023年芯片法案公告）

 

这差距，让人沉默！

 

所以在我看到那图片的那一刻，确认那是干涉仪。心中暗自思忖，倘若这要是假的倒也罢了，可若是真的，那格局可就变了。

 

影响上东大工业能力，生产线一开，EUV机器年产上百台不是梦。价格降到ASML一半，国内铺开。

 

荷兰呢？失业潮可能来。ASML雇员上万，依赖出口。

 

但冷静些，中国的突破确实并非易事。在5纳米的良率方面，国际上台积电花费了数年时间来进行优化。而中国需要奋起直追。

 

 

趋势是全球半导体重心东移。2024年，中国芯片设计企业超5000家，产值超4000亿人民币。（来源：中国半导体行业协会2024报告）

 

这数据，让我看到希望和压力并存。

 

你说要是EUV真量产了，咱手机芯片还能便宜多少？

 

作者：偷影子的人呢；来源：七月的影子 微信号